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热式MFC（Mass Flow Controller）和差压式MFC都是用于测量和控制气体流量的设备，二者在多个方面存在显著差异，以下是对这两种MFC的详细对比：

一、测量原理

• 热式MFC主要选用的是热式流量传感器。这种传感器通常包含加热元件（如热丝）和温度检测元件（如热敏电阻）。加热元件以恒定功率加热，当气体流过加热元件时，会带走部分热量，导致加热元件周围温度下降。温度检测元件则用于感知这种温度变化，并将其转换为电信号，从而实现对气体流量的测量。具体来说，热式流量传感器的工作原理是：当没有气流时，加热元件产生的热量均匀且对称地向周围扩散，温度检测元件具有相同的温度输出。而当气体流动时，上下游的温度检测元件会感知到温度的偏移，通过该偏移量可以测算出当下的流速。此时温度与质量流量成正比，与气体的热容量成反比。

• 差压式MFC：通过测量层流中不同位置的气体压强差来工作。当气体从入口进入后，会经过层流元件，将不规则的湍流状态调整为规则的层流状态。随后，内置的压差传感器会测量层流元件两端的压力差，并将其转化为电信号，进而计算气体的流量。同时，温度传感器会实时监测气体温度，以修正因温度变化产生的误差。

  
  
  

• 差压式MFC则主要选用的是压差传感器、温度传感器以及可能的压力传感器。

• 压差传感器：用于测量层流元件两端的压力差，并将其转化为电信号。这个压力差与气体的流量有直接关系，是差压式MFC测量流量的基础。可选All Sensors公司的BFTM系列三芯片差压传感器。

• 温度传感器：用于实时监测气体的温度，并进行修正补偿以消除温度对测量结果的影响。

• 压力传感器（部分应用中）：用于检测输入气体的压力大小，这在某些需要精确控制气体压力的场合中尤为重要。

• 这些传感器共同工作，使得差压式MFC能够实现对气体流量的精确测量和控制。

二、性能特点

• 热式MFC：

价格与使用便捷性：价格适中，使用便捷。

精度：在精度方面略显不足，但已足够满足光伏、面板等泛半导体设备的需求。不过，也有观点认为热式MFC具有高精度的测量能力，能够准确地测量各种气体的流量。

响应速度：响应速度快。

• 差压式MFC：

价格：价格较高。

精度：高精度特性使其在半导体领域得到广泛应用。

稳定性：稳定性好。

测量范围：测量范围宽，适用于多种介质，包括腐蚀性、易燃易爆、易结晶及需高温气化的介质。量程比高，且保持高精度。

其他：结构简单，安装便捷。但耐压较小，最大承压1MPa，超出范围可能损坏传感器。传感器易凝结液体，尤其在易产生液体凝结或遇水蒸气结成粉末状的介质环境中。

三、应用场景

• 热式MFC：主要应用于光伏、面板等泛半导体设备中，也适用于气体和液体的流量测量。

• 差压式MFC：在需要高精度测量的场合，如某些工业生产和实验室研究，以及半导体领域，差压式MFC可能是更合适的选择。

综上所述，热式MFC和差压式MFC在测量原理、性能特点和应用场景等方面都存在显著差异。在选择合适的MFC时，需要根据具体的应用要求和流体性质来进行综合考虑。